最早是美国宇航局上世纪五、六十年代因宇航工业需求而制定的一个净化标准。是以每立方英尺空气中,大于5微米的尘埃数不多余多少,比如100级,就是不得大于100粒。现已更新过多次了,而且随电子芯片工业的发展,早已将尘埃粒径5微米改为1微米甚至更小,尘埃数甚至已降至零了。
目前国内所采用的净化级别都是从此引入,只不过将体积单位改为了立方米等公制单位,但习惯上称的100级,1000级,10000级等仍是按上述出处而定。
另目前国内医药企业、医院手术室等所称的净化等级也在沿用此等级,但还加上了另一个指标:菌落数。