无论是洁净室工程竣工验收还是综合性能全面评定， 均需要对相关参数进行检测， 以此来确定工程是否合格。 在洁净室的使用过程中， 应定期对有关参数进行监测， 以认证该洁净室始终符合规定要求。

净化车间检测状态

洁净室的检测应明确其占用状态， 状态不同， 检测结果也不同。 按照《洁净厂房设计规范》（GB 50073-2001） 的规定， 洁净室检测分为三种状态： 空态、 静态和动态。

（1） 空态 设施已经建成， 所有动力接通并运行， 但无生产设备、 材料及人员。

（2） 静态 设施已经建成， 生产设备已经安装， 并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

（3） 动态 设施以规定的状态运行， 有规定的人员在场， 并在商定的状态下进行工作。

对于洁净室工程的竣工验收， 我国《洁净室施工及验收规范》（JGJ 71-1990） 中明确规定， 检测和调整应在空态或静态下进行。 这一规定更能及时客观地评价工程的质量， 还能避免因不能如期实现动态而发生工程收尾的纠纷。 在实际竣工检测中， 静态居多， 空态罕见。因为洁净室内的工艺设备有些必须提前就位。在洁净度检测前， 对工艺设备需进行认真擦拭，以免影响测试数据。 2011 年 2 月 1 日施行的《洁净室施工及验收规范》（GB50591 一 2010）中的规定更为具体： “16.1.2 检验时洁净室的占用状态区分如下： 工程调整测试应为空态，工程验收的检验和日常例行检验应为空态或静态， 使用验收的检验和监测应为动态。 当有需要时也可经建设方（用户） 和检验方协商确定检验状态。”