1)元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融断。若人体带上10kV(100PF)的静电荷，触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10～100s)，此时，就连一般的IC、MOS无尘车间等级都会遭受损坏。
洁净车间工程
2)洁净车间工程造成噪声、发射电磁波干扰。ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量，频率跨越几MHz、甚几百MHz的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起晶片处理机死机。
洁净车间工程
3)电击人体。人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时，人都会有各种伤害感觉，造成工作人员的情绪不安，以导致操作错误。
